威立雅 E‑Cell‑MK5工业级超纯水EDI单堆重量：约 80 kg 威立雅E-Cell-MK5工业级超纯水EDI单堆凭借其紧凑型模块化设计，在保证80kg轻量化机身的同时，实现了每小时5m³的高产水效率。其专利的离子交换膜堆叠技术采用航天级钛合金框架，使设备在高温高压环境下仍能保持0.1μS/cm的稳定出水品质。 该系统的智能控制系统配备了第四代HMI触摸屏，可实时监测电阻率、pH值和TOC等12项核心参数。特别设计的自清洁流道能有效防止硅酸盐结垢，配合威立雅独有的脉冲电场技术，使膜堆使用寿命延长至7年以上。现场测试数据显示，在半导体清洗工艺中，其产水颗粒物控制达到Class 1级别，完全满足EUV光刻机用水标准。 安装方面，模块化快拆结构支持横向/纵向两种部署方式，配套的液压升降底座使单人即可完成设备定位。目前该型号已成功应用于中芯国际12英寸晶圆厂，在连续运行180天后仍保持99.2%的脱盐率，较传统EDI设备节能23%。

 威立雅 E‑Cell‑MK5工业级超纯水EDI单堆重量：约 80 kg

威立雅E-Cell-MK5工业级超纯水EDI单堆凭借其紧凑型模块化设计，在保证80kg轻量化机身的同时，实现了每小时5m³的高产水效率。其专利的离子交换膜堆叠技术采用航天级钛合金框架，使设备在高温高压环境下仍能保持0.1μS/cm的稳定出水品质。

该系统的智能控制系统配备了第四代HMI触摸屏，可实时监测电阻率、pH值和TOC等12项核心参数。特别设计的自清洁流道能有效防止硅酸盐结垢，配合威立雅独有的脉冲电场技术，使膜堆使用寿命延长至7年以上。现场测试数据显示，在半导体清洗工艺中，其产水颗粒物控制达到Class 1级别，完全满足EUV光刻机用水标准。

安装方面，模块化快拆结构支持横向/纵向两种部署方式，配套的液压升降底座使单人即可完成设备定位。目前该型号已成功应用于中芯国际12英寸晶圆厂，在连续运行180天后仍保持99.2%的脱盐率，较传统EDI设备节能23%。