漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳离子交换树脂案例 4:超纯水抛光床无尘装填案例

 

漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳离子交换树脂案例 4:超纯水抛光床无尘装填案例

漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳树脂装填在ISO5 级超净环境下进行,用超纯水(电阻率≥18.2MΩcm)浸泡 5 小时,去除微量 TOC 溶出物。装填采用无尘湿法装填,装填高度为抛光床内径的 1.0 倍,全程避免颗粒摩擦产生粉尘,漂莱特 PUROLITE UCW9126 超纯水级强酸阳离子交换树脂均粒(均一系数≤1.2)特性可减少颗粒脱落。某半导体超纯水项目装填后,抛光床无粉尘污染,出水电阻率稳定≥18.2MΩcm


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